
AVAT 真空闸阀解决方案 (Gate Valves)截面完全开启安装深度低VAT 真空角阀 (Angle Valves)用于泵系统、工艺或排气应用尤其适合苛刻的环境VAT 真空全金属阀门(All Metal Valves)“金属对金属”硬密封功能适用于超高真空和极高真空应用
12, 10, 14 等系列的插板阀配备了 VATLOCK 技术,可提供可靠密封且无任何摩擦,从而避免颗粒生成。
12.1 系列:已在众多不同工艺条件下的苛刻应用中安装使用,具备高可靠性。
10.8 系列:可以轻松集成到任何超高真空系统中。同时提供窗口、端口和替代密封材料等各种特殊选项,确保与应用精准匹配。
09 系列楔形闸阀具有自清洁功能的特殊楔形设计,在高达 1 巴的压差下仍可完全正常工作;该系列闸阀已在数千个不同工艺条件下的苛刻应用中安装使用,其卓越的可靠性得到了验证;尤其是在半导体工厂设备层应用中,它已成为真空泵隔离的标准解决方案;凭借多种设计选项,闸阀可以轻松集成到任何应用中。
角阀适用于真空系统的抽气和排气,可抵抗高压差。
26 系列配备波纹管进给,适用于对颗粒敏感的应用。波纹管封装还可以防止在任何阀门位置出现压力波动。24 系列配备轴封进给,具有出色的可靠性和长使用寿命。
29 系列该系列具有软抽功能的阀门,可在开启时避免湍流,防止对工艺产生负面影响。
适用于对惰性物理性能有非常高要求的超高真空和极高真空应用,具有以下优势特点:阀门与介质接触区域不使用任何类型的弹性体;具备可重复的“金属对金属”硬密封功能,可耐受高温烘烤与辐射环境。







