61.3 高真空蝶形控制阀

在所有条件下均能实现出色的压力控制

61.3 高真空蝶形控制阀可提供出色的压力控制性能。凭借其快速且精准的作用动作控制器（0.1 秒），61.3 蝶形控制阀成为 CVD 和 ALD 工艺中精细控制的理想解决方案。阀板可充当节流元件，改变阀门开度的流导特性。61.3 蝶形控制阀的集成压力控制器可计算所需的阀板位置，以尽快实现设定压力。

该系列产品专为气流中有粒子的恶劣下游工艺设计。即使粒子载荷高并且存在因设计而沉积的碎屑，61.3 蝶形控制阀仍能够保持完全正常运行。

61.3 系列已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其卓越的可靠性。凭借坚固的设计、直接安装选项，以及简单且轻松的维护，61.3 系列在各个方面都令人信服。

阀体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自适应、固定 PI 下游/软抽）方面的各种设计选项可简化在不同真空应用中的集成。

61.3 高真空蝶形控制阀采用铝或不锈钢制成，标准法兰连接器为 ISO-KF 和 ISO-F，可以集成客户指定法兰和特殊功能，如集成式绝缘加热器。可根据要求提供各种全氟橡胶/氟橡胶弹性体（氟橡胶为标准选项）。

61.3 高真空蝶形控制阀的主要特点

特点：

· 卓越的压力控制

· 运行非常快

· 板载软件，用于本地运行

· 恶劣工艺条件下可实现可靠运行

优势：

· 工艺可控性更好

· 正常运行时间长/性能不受限

· 运行成本低